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TORAY東麗 氧化鋯多點氧氣濃度計 MS-500傳感器
小于10ppm
10ppm以上
1000ppm（0.1%）以上
負壓/大氣壓
直流電源
串行通訊輸出
CE標志
多點氧濃度計MS-500/MS-510/SD傳感器系列是利用我們在半導體和電子行業(yè)積累的氧濃度計制造技術開發(fā)的，可用于包括真空設備在內的各種設備。這是一個產品。
配備了我們 的緊湊型氧化鋯傳感器，可以長時間進行穩(wěn)定和高精度的測量，并且還配備了氧傳感器保護機制，實現了超越傳統產品的耐用性。此外，通過將氧氣傳感器和轉換器分離并添加最多8個檢測器，可以同時測量。該氧氣濃度計易于操作， 集成到各種處理設備中。
使用一臺控制器最多可同時測量 8 點。
（轉換器/SD 傳感器組作為選項添加）
非常適合安裝和集成到批量生產的機器中。
通過將傳輸輸出更改為 LAN 規(guī)格，可以從 LAN 連接器進行輸出。
這是一種無需采樣的直插式傳感器，即使在真空氣氛中也可以進行測量。
使用單獨的傳感器實現最短的響應。
傳感器采用特殊涂層，以實現高耐用性。
*有關SD傳感器的詳細功能和規(guī)格，請查看SD傳感器產品目錄。
CE 標志...EN61010-1、EN61326-1
RoHS 指令...EN63000
| 模型 | 控制器：MS-500 轉換器：MS-510 傳感器：SD16NW/SD25NW/SD40NW |
|---|---|
| 測量點數 | 最多8點（每個測量點需要一套檢測單元） |
| 測量方法 | 氧化鋯氧濃差電池類型 |
| 測量范圍 | 0.001ppm～100% |
| 安裝條件 | 安裝地點：室內、非防爆區(qū)域 環(huán)境溫度：控制器/轉換器：0～40℃ 傳感器單元：0～50℃ 環(huán)境濕度：35～80%RH（無結露） 安裝溫度：控制器/轉換器 容器：0～40℃ 傳感器單元：0～100℃ 不含易燃成分、鹵素、二氧化硅、腐蝕性成分 |
| 尺寸 | 92寬×44高×120深（毫米） |
|---|---|
| 大量的 | 約0.6公斤 |
| 安裝方法 | 使用 M3 螺釘進行面板安裝 |
| 電源 | 電源：DC24V，0.3A |
| 濃度顯示 | 自動量程 數字4位顯示（濃度顯示） 自動量程切換顯示 0-1/10/100/1000ppm/1/10/100% |
| 通訊輸出規(guī)格 | 通信方式：單向、RS-232C 兼容、D-sub 9 針（針接觸） 傳輸速度：9,600/19,200/38,400 bps LAN 連接：選項 |
| 選項 | LAN輸出（傳輸輸出） |
| 尺寸 | 轉換器：100（寬）x 40（高）x 88（深）（單位：mm，不包括突出部分） 傳感器：總長度 100（單位：mm） |
|---|---|
| 大量的 | 轉換器：約 0.5kg 傳感器：約 0.3kg |
| 安裝方法 | 傳感器：用 M3 螺釘固定在平面上 傳感器：ISO 真空法蘭連接 |
| 聯系 | 轉換器與傳感器之間的連接為專用線， 標準長度為2m，最大長度為10m。 |
| 預熱時間 | 6分鐘內 |
| 電源 | 電源：DC24V、2A 功耗：60VA（標準：15VA） |
| 重復性 | 0～1%量程以上：±0.5%FS以下 0～1%量程以下：±1.0%FS或±0.1ppm中較大者 ※不保證0～1ppm量程以下 |
| 空氣點 穩(wěn)定性 | ±1.0%FS以下/24小時 |
| 樣品條件 | 請勿在還原性氣氛中使用。 另外，如果被測氣體的比熱較高，例如He濃度較高，則可能無法使用。 溫度：0～100℃ 壓力：10 -3 Pa～200kPa（絕對壓力） 濕度：露點低于環(huán)境溫度 流量：0.5～5L/min或0L/min（自然擴散下測量） |
對于上述規(guī)格以外的要求，請另行聯系我們。
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