池田屋新品ULVAC GR60A多級羅茨型干泵

池田屋新品ULVAC GR60A多級羅茨型干泵

摘要： 在真空干燥、氣體置換及成膜設備Load Lock室等一般工業(yè)應用中，高負荷與反復抽氣工況對真空泵的耐久性提出嚴苛要求。池田屋全新引入的日本ULVAC（愛發(fā)科）GR60A型多級羅茨型干泵，以久經市場考驗的LR/HR系列技術為基礎，針對一般產業(yè)設計簡潔堅固結構，最大排氣速度達80 m3/h，支持大氣至真空的高負荷連續(xù)運行，為潔凈氣體抽氣及Load Lock室應用提供了經濟可靠的真空解決方案。

正文：

在真空干燥設備、真空氣體置換系統(tǒng)以及各類成膜設備的Load Lock室（出入料室）等一般工業(yè)場景中，真空泵常面臨在大氣壓與真空之間反復抽氣的高負荷工況。傳統(tǒng)干式真空泵在耐用性與成本之間難以取得平衡。為應對這一挑戰(zhàn)，池田屋引入日本ULVAC GR60A型多級羅茨型干泵。

GR60A屬于ULVAC GR系列，該系列是基于市場業(yè)績和信賴度高的LR/HR系列設計的面向一般產業(yè)的簡潔結構泵。最大排氣速度在50Hz下達62 m3/h（1030 L/min），60Hz下達80 m3/h（1333 L/min），極限壓力為5.0 Pa，可滿足大多數一般產業(yè)真空工藝的需求。該泵可應用于大氣與真空之間反復抽氣的高負荷領域，特別適用于追求高吞吐量的Load Lock室（裝載/卸載室）排氣。

在設計與配置方面，GR60A采用通用感應電機（輸出2.2kW），支持多電壓兼容，并可選配防爆電機等特殊規(guī)格。吸氣口為VG50（或ISO63F），排氣口為NW40，重量128kg。泵體標配DRP表面處理，主要零部件具備耐腐蝕性，延長了泵的使用壽命。冷卻水流量要求>5.0L/min，氮氣軸封流量固定為5.0SLM。

在應用場景方面，GR60A廣泛適用于空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣，各種成膜設備的Load Lock室排氣，以及真空干燥、真空氣體置換和真空脫泡等一般產業(yè)應用。

行業(yè)觀察人士指出，在一般工業(yè)真空應用中，兼具高性能與簡潔結構的干泵是提升設備經濟性與可靠性的關鍵。池田屋此次引入的ULVAC GR60A多級羅茨型干泵，以其高負荷耐久性、80 m3/h抽速及簡潔堅固設計等核心優(yōu)勢，為國內一般產業(yè)真空應用提供了高性價比的解決方案。

綜合來看，該產品的推廣應用，有助于提升真空干燥、Load Lock及氣體置換等環(huán)節(jié)的真空系統(tǒng)可靠性，為一般工業(yè)生產與設備制造提供堅實的技術支撐。