池田屋新品推出ESD防靜電真空吸筆 C001-Y-99-CP（12英寸晶圓用）

池田屋新品推出ESD防靜電真空吸筆 C001-Y-99-CP（12英寸晶圓用）

摘要

池田屋實業(yè)（深圳）有限公司近日推出C001-Y-99-CP ESD防靜電真空吸筆，專為12英寸（300mm）半導體晶圓搬運設計。該產品為NC（常閉）閥門類型，采用固定式接頭，總長300mm，重量31g。主體采用導電尼龍材質，采用導電PEEK材質，可有效減少靜電對晶圓的影響。閥體內壁經過精細拋光處理，最大限度減少顆粒產生。NC型常閉設計在未按壓開關時處于關閉狀態(tài)，僅在使用時導通，可有效防止誤操作導致的晶圓掉落，適用于12英寸半導體晶圓搬運、芯片處理、潔凈室操作及深腔體設備取放等靜電敏感應用場景。

正文

在先進半導體制造工藝中，12英寸（300mm）晶圓已成為主流規(guī)格，其更大的尺寸與更高的價值對搬運工具的安全性、操作可靠性及防靜電性能提出了更為嚴格的要求。誤操作導致的晶圓掉落可能造成重大經濟損失，因此安全優(yōu)先的設計理念在12英寸晶圓搬運工具中尤為重要。針對12英寸晶圓搬運中對操作安全性、ESD防護與低顆粒產生的多重需求，池田屋實業(yè)（深圳）有限公司推出C001-Y-99-CP ESD防靜電真空吸筆。該產品現(xiàn)已正式供應，為12英寸晶圓安全搬運提供可靠的解決方案。

C001-Y-99-CP是C系列ESD真空吸筆中專為12英寸（300mm）半導體晶圓設計的NC（常閉）閥門類型產品?？傞L達300mm，較8英寸用標準型（247mm）延長了53mm，充分滿足大尺寸晶圓在深腔體設備、高壁容器及潔凈室特定布局下的遠距離操作需求。NC型為常閉設計，未按壓開關時吸筆處于關閉狀態(tài)，不產生吸附力。操作者需主動按壓開關方可導通真空吸附晶圓，釋放時松開開關即可。這一設計可有效防止因真空源誤操作或意外觸碰導致的晶圓掉落事故，特別適合對安全性要求高的12英寸晶圓搬運作業(yè)。

產品采用固定式接頭設計，確保與真空管路連接的可靠性與氣密性。固定式接頭消除了旋轉接頭可能帶來的松動風險，在需要精確定位的晶圓搬運操作中具有明顯優(yōu)勢。

在材質與靜電防護方面，C001-Y-99-CP主體采用導電尼龍材質，采用導電PEEK（聚醚醚酮）材質。導電尼龍具有良好的靜電消散性能，可將操作過程中產生的靜電安全導地，避免靜電積累對晶圓上精密電路的潛在損傷。導電PEEK在具備優(yōu)異靜電防護性能的同時，具有良好的耐磨性與耐化學性，且硬度低于硅材料，不會劃傷晶圓表面。閥體內壁經過精細拋光處理，最大限度減少閥芯運動過程中因摩擦產生的顆粒，滿足先進制程對潔凈度的嚴格要求。

在規(guī)格方面，C001-Y-99-CP總長300mm，重量僅31g，加長設計并未顯著增加重量，確保長時間操作的舒適性。緊湊的吸筆頭設計便于在晶圓盒、工藝腔體等有限空間內靈活操作。產品需與真空泵、ESD防靜電管、靜電消散接地套件等配件配合使用，構建完整的ESD安全搬運系統(tǒng)。

在應用場景方面，C001-Y-99-CP廣泛適用于12英寸半導體晶圓的搬運與轉移、深腔體工藝設備的取放操作、芯片與裸片的拾取與放置、潔凈室環(huán)境下的精密操作，以及各類需要大尺寸晶圓靜電防護與安全操作優(yōu)先的搬運場景。

C001-Y-99-CP廣泛應用于12英寸晶圓制造、半導體封裝、潔凈室操作及芯片組裝等領域。池田屋表示，該產品以加長型設計與NC閥門常閉配置，為12英寸晶圓的安全搬運提供了可靠的ESD防護解決方案。