池田屋新品推出ESD防靜電真空吸筆 C003-Y-99-CP（12英寸晶圓用）

池田屋新品推出ESD防靜電真空吸筆 C003-Y-99-CP（12英寸晶圓用）

摘要

池田屋實(shí)業(yè)（深圳）有限公司近日推出C003-Y-99-CP ESD防靜電真空吸筆，專為12英寸（300mm）半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)設(shè)計(jì)。該產(chǎn)品為NO+SW（常開(kāi)+開(kāi)關(guān)）閥門(mén)類型，采用固定式接頭，總長(zhǎng)300mm，重量31g。主體采用導(dǎo)電尼龍材質(zhì)，采用導(dǎo)電PEEK材質(zhì)，可有效減少靜電對(duì)晶圓的影響。閥體內(nèi)壁經(jīng)過(guò)精細(xì)拋光處理，最大限度減少顆粒產(chǎn)生。適用于12英寸半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)、芯片處理、潔凈室操作及深腔體設(shè)備取放等靜電敏感應(yīng)用場(chǎng)景。

正文

在先進(jìn)半導(dǎo)體制造工藝中，12英寸（300mm）晶圓已成為主流規(guī)格，其更大的尺寸與更高的集成度對(duì)搬運(yùn)工具提出了更嚴(yán)格的要求。操作人員與晶圓之間的操作距離增加，深腔體工藝設(shè)備的取放操作對(duì)吸筆的長(zhǎng)度與防靜電性能提出了更高要求。傳統(tǒng)的8英寸用吸筆在長(zhǎng)度與吸力設(shè)計(jì)上難以滿足12英寸晶圓的安全搬運(yùn)需求。針對(duì)12英寸晶圓搬運(yùn)中對(duì)操作距離、ESD防護(hù)與低顆粒產(chǎn)生的多重需求，池田屋實(shí)業(yè)（深圳）有限公司推出C003-Y-99-CP ESD防靜電真空吸筆。該產(chǎn)品現(xiàn)已正式供應(yīng)，為12英寸晶圓安全搬運(yùn)提供專用的解決方案。

C003-Y-99-CP是C系列ESD真空吸筆中專為12英寸（300mm）半導(dǎo)體晶圓設(shè)計(jì)的產(chǎn)品，總長(zhǎng)達(dá)300mm，較8英寸用標(biāo)準(zhǔn)型（247mm）延長(zhǎng)了53mm，充分滿足大尺寸晶圓在深腔體設(shè)備、高壁容器及潔凈室特定布局下的遠(yuǎn)距離操作需求。產(chǎn)品采用NO+SW（常開(kāi)+開(kāi)關(guān)）閥門(mén)類型，在未按壓開(kāi)關(guān)時(shí)保持真空吸附狀態(tài)，操作者可通過(guò)按壓開(kāi)關(guān)釋放晶圓。這一設(shè)計(jì)特別適合需要長(zhǎng)時(shí)間保持吸附的搬運(yùn)作業(yè)，顯著減輕操作人員的手指疲勞，提高操作效率。固定式接頭確保與真空管路連接的可靠性與氣密性。

在材質(zhì)與靜電防護(hù)方面，C003-Y-99-CP主體采用導(dǎo)電尼龍材質(zhì)，采用導(dǎo)電PEEK（聚醚醚酮）材質(zhì)。導(dǎo)電尼龍具有良好的靜電消散性能，可將操作過(guò)程中產(chǎn)生的靜電安全導(dǎo)地，避免靜電積累對(duì)晶圓上精密電路的潛在損傷。導(dǎo)電PEEK具備優(yōu)異靜電防護(hù)性能的同時(shí)，具有良好的耐磨性與耐化學(xué)性，且硬度低于硅材料，不會(huì)劃傷晶圓表面。閥體內(nèi)壁經(jīng)過(guò)精細(xì)拋光處理，最大限度減少閥芯運(yùn)動(dòng)過(guò)程中因摩擦產(chǎn)生的顆粒，滿足先進(jìn)制程對(duì)潔凈度的嚴(yán)格要求。

在規(guī)格方面，C003-Y-99-CP總長(zhǎng)300mm，重量?jī)H31g，加長(zhǎng)設(shè)計(jì)并未顯著增加重量，確保長(zhǎng)時(shí)間操作的舒適性。緊湊的吸筆頭設(shè)計(jì)便于在晶圓盒、工藝腔體等有限空間內(nèi)靈活操作。產(chǎn)品需與真空泵、ESD防靜電管、靜電消散接地套件等配件配合使用，構(gòu)建完整的ESD安全搬運(yùn)系統(tǒng)。

在應(yīng)用場(chǎng)景方面，C003-Y-99-CP廣泛適用于12英寸半導(dǎo)體晶圓的搬運(yùn)與轉(zhuǎn)移、深腔體工藝設(shè)備的取放操作、芯片與裸片的拾取與放置、潔凈室環(huán)境下的精密操作，以及各類需要大尺寸晶圓靜電防護(hù)的搬運(yùn)場(chǎng)景。

C003-Y-99-CP廣泛應(yīng)用于12英寸晶圓制造、半導(dǎo)體封裝、潔凈室操作及芯片組裝等領(lǐng)域。池田屋表示，該產(chǎn)品以加長(zhǎng)型設(shè)計(jì)與NO+SW閥門(mén)配置，為12英寸晶圓的安全搬運(yùn)提供了可靠的ESD防護(hù)解決方案。