近期我司新品發(fā)布KASHIYAMA  干泵 SDL30K-JM028-A

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發(fā)布日期

2026年5月26日

KASHIYAMA  干泵 SDL30K-JM028-A產(chǎn)品介紹

在半導(dǎo)體、平板顯示、光伏以及化學(xué)工業(yè)領(lǐng)域，獲得清潔、穩(wěn)定、無油污染的真空環(huán)境是諸多核心工藝的前提條件。KASHIYAMA（樫山工業(yè)）作為日本真空技術(shù)品牌，憑借數(shù)十年在干式真空泵領(lǐng)域的深耕，已經(jīng)成為全球制造業(yè)中備受信賴的供應(yīng)商之一。其推出的SDL系列干式真空泵，專為嚴(yán)苛的工業(yè)環(huán)境設(shè)計(jì)，而型號 SDL30K-JM028-A 則是該系列中一款兼顧抽速、節(jié)能與耐腐蝕性的代表產(chǎn)品。

“干式真空泵"的核心價(jià)值在于：泵體的工作腔內(nèi)不使用油類介質(zhì)進(jìn)行密封或潤滑，從而避免了油氣返流對工藝腔室的污染，也無需定期更換大量的真空泵油。SDL30K-JM028-A 正是基于這一理念，采用先進(jìn)的螺旋爪式（或羅茨+爪式復(fù)合）轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了清潔排氣、低運(yùn)行成本和長期穩(wěn)定性的統(tǒng)一。

二、產(chǎn)品核心特性（非技術(shù)參數(shù)視角）

從實(shí)際應(yīng)用特性來看，SDL30K-JM028-A 具有以下幾項(xiàng)突出優(yōu)勢：

1. 無油潔凈排氣

該泵的轉(zhuǎn)子與腔體之間采用精密的微米級間隙設(shè)計(jì)，無需任何潤滑油或密封液就能實(shí)現(xiàn)高氣密性。這意味著被抽氣體不會(huì)接觸到油類物質(zhì)，特別適合對碳?xì)浠衔镂廴緲O其敏感的工藝，例如真空鍍膜、晶圓加工或鋰電池注液前的除氣步驟。同時(shí)，排氣側(cè)也不會(huì)因油霧而產(chǎn)生白煙或污染物殘留，有利于環(huán)保排放。

2. 優(yōu)異的耐粉塵與耐腐蝕能力

SDL30K-JM028-A 在材質(zhì)與結(jié)構(gòu)上針對惡劣工藝條件進(jìn)行了強(qiáng)化。其內(nèi)部流道經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計(jì)，減少了粉塵堆積的死角；轉(zhuǎn)子表面及泵腔內(nèi)壁可選用特殊涂層（如鎳磷涂層或氟樹脂涂層），能夠耐受氟系、氯系等腐蝕性氣體的侵蝕。這使得它可以直接用于刻蝕、CVD（化學(xué)氣相沉積）等會(huì)產(chǎn)生副產(chǎn)物粉塵和活性氣體的半導(dǎo)體工序，而不需要頻繁拆洗。

3. 穩(wěn)定的抽速與低壓力運(yùn)行

該泵在全壓力范圍內(nèi)（從大氣壓到高真空）都能保持較高的抽氣效率，尤其在1 Torr 至大氣壓這一中低真空區(qū)域表現(xiàn)突出。它既可以作為獨(dú)立的主泵使用，用于真空干燥、真空包裝或真空吸附等場景；也可以作為前級泵，配合渦輪分子泵或冷凝泵組成多級抽氣系統(tǒng)，幫助后者快速跨過分子流過渡區(qū)，提高整體系統(tǒng)的抽氣效率。

4. 智能溫控與節(jié)能運(yùn)行

干式泵在工作時(shí)轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)會(huì)產(chǎn)生熱量，SDL30K-JM028-A 配備了內(nèi)部冷卻回路和智能溫控系統(tǒng)。在啟動(dòng)階段，泵體會(huì)較快升溫至最佳工作溫度，避免工藝氣體在內(nèi)部冷凝形成液體殘留；在待機(jī)或輕載時(shí)，系統(tǒng)可自動(dòng)降低轉(zhuǎn)速或進(jìn)入節(jié)能模式，顯著降低電力消耗和冷卻水用量。這對于需要24小時(shí)連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)的工廠而言，每年可節(jié)省可觀的能耗成本。

5. 低噪音與緊湊布局

相比同等抽速的油封式機(jī)械泵，SDL30K-JM028-A 采用先進(jìn)的消音技術(shù)和動(dòng)平衡轉(zhuǎn)子，運(yùn)行時(shí)振動(dòng)小、噪音低，無需建設(shè)單獨(dú)隔音泵房即可布置在潔凈車間或?qū)嶒?yàn)室內(nèi)。其緊湊的落地式或模塊化設(shè)計(jì)，使得設(shè)備維護(hù)和管線連接更加靈活，尤其適合空間有限的設(shè)備改造項(xiàng)目。

三、主要用途詳解

SDL30K-JM028-A 干式真空泵并非通用泵，而是針對中高要求的工業(yè)真空應(yīng)用設(shè)計(jì)。其主要應(yīng)用場景包括：

1. 半導(dǎo)體制造前道工序

在等離子體刻蝕、CVD薄膜沉積、離子注入等工藝中，腔室內(nèi)部會(huì)生成大量反應(yīng)副產(chǎn)物（如硅氧化物、聚合物殘?jiān)┮约案g性氣體（如CF?、Cl?、BCl?）。SDL30K-JM028-A 憑借其耐腐蝕涂層和高溫運(yùn)行設(shè)計(jì)，能夠持續(xù)將這些有害氣體排出，同時(shí)防止粉塵在泵內(nèi)積聚導(dǎo)致轉(zhuǎn)子卡死。它是許多8英寸、12英寸晶圓生產(chǎn)線中的真空基礎(chǔ)設(shè)備。

2. 平板顯示器與太陽能電池生產(chǎn)

在FPD（液晶/OLED面板）和光伏太陽能電池的制造過程中，同樣大量使用PECVD、濺射和刻蝕設(shè)備。這些設(shè)備的工藝腔室尺寸大、氣體流量高，需要抽速大且能夠耐受非晶硅粉塵的干式泵。SDL30K-JM028-A 通常以多泵并聯(lián)或一拖二的形式工作，確保整個(gè)生產(chǎn)線的真空度一致性，避免因某臺泵故障導(dǎo)致整條鍍膜線停機(jī)。

3. 真空鍍膜與表面處理

對于工具涂層（如TiN、CrN）、裝飾鍍膜（如衛(wèi)浴五金、鐘表殼）以及光學(xué)鍍膜（如AR減反射膜），真空系統(tǒng)需要從大氣壓快速抽至10?3 Pa以下，并在工藝過程中持續(xù)排出水汽和未反應(yīng)的氣體分子。SDL30K-JM028-A 可作為主泵或粗抽泵，幫助鍍膜機(jī)縮短循環(huán)時(shí)間、提高鍍膜附著力。其無油特性也避免了油分子污染光學(xué)薄膜，造成透過率下降或針孔缺陷。

4. 鋰電池與電容器干燥工藝

鋰電池電極片、隔膜以及電解液注液前的烘烤除水工序，需要在真空環(huán)境下加熱以加速水汽蒸發(fā)。如果使用油封泵，水汽與油混合后容易乳化變質(zhì)，且油蒸汽可能回流到烘箱內(nèi)污染極片。SDL30K-JM028-A 的干式設(shè)計(jì)使其能夠耐受水蒸氣和少量有機(jī)溶劑蒸氣，長期穩(wěn)定運(yùn)行而無需頻繁換油，大大降低了超級電容器、動(dòng)力電池生產(chǎn)線的維護(hù)工作量。

5. 化學(xué)實(shí)驗(yàn)室與中試裝置

在高校、研究所或醫(yī)藥化工企業(yè)的合成實(shí)驗(yàn)室中，需要無水無氧環(huán)境下的反應(yīng)操作（如Schlenk技術(shù)、手套箱連接）。SDL30K-JM028-A 因體積適中、只需單相電源即可驅(qū)動(dòng)（視具體電機(jī)配置），可作為高等級實(shí)驗(yàn)臺的集中真空源。同時(shí)，它不會(huì)像油泵那樣在使用中持續(xù)排出油霧污染環(huán)境，更適合安裝在開放式實(shí)驗(yàn)區(qū)域。

6. 真空干燥與食品/藥品包裝

對于需要快速移除水分的物料（如熱敏性原料藥、生物制品凍干），以及要求無油污染的真空包裝（如電子元器件防潮包裝、高檔茶葉），SDL30K-JM028-A 可以提供干凈、穩(wěn)定的負(fù)壓環(huán)境。其長期連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)能力（無需像油泵那樣每班檢查油位）有助于提高包裝線的自動(dòng)化程度。

四、適用設(shè)備與環(huán)境

SDL30K-JM028-A 通常作為以下設(shè)備的內(nèi)置或配套真空源：

• 半導(dǎo)體刻蝕機(jī)、PECVD/CVD設(shè)備

• 真空鍍膜機(jī)（蒸發(fā)鍍、濺射鍍）

• 真空干燥箱、真空烘箱

• 鋰電池注液機(jī)、真空除氣室

• 手套箱過渡艙抽空系統(tǒng)

• 中央真空系統(tǒng)（多泵并聯(lián)）

使用環(huán)境方面，應(yīng)安裝在通風(fēng)良好、環(huán)境溫度適宜（一般5-40℃）、無嚴(yán)重振動(dòng)的場所。建議定期檢查排氣口是否有異物堵塞，并根據(jù)工藝氣體種類決定清洗內(nèi)部腔體的周期。若抽除含可凝性蒸氣（如大量水汽、溶劑）的氣體，建議啟動(dòng)前開啟泵的預(yù)熱功能或配置進(jìn)氣口吹掃裝置，以防止蒸氣在泵內(nèi)冷凝。

五、總結(jié)

KASHIYAMA SDL30K-JM028-A 干式真空泵是一款面向現(xiàn)代精密制造業(yè)的潔凈真空動(dòng)力核心。它通過無油轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)、耐腐蝕處理和智能溫控系統(tǒng)，解決了傳統(tǒng)油封泵易污染、抗腐蝕差、維護(hù)頻繁的痛點(diǎn)。無論是對清潔度要求的半導(dǎo)體前端工藝，還是需要批量處理物料的光伏/鋰電池生產(chǎn)線，這款泵都能提供穩(wěn)定、高效、低維護(hù)成本的真空保障。