池田屋精品！日本新宇宙PS-8系列Cosmos型氣體檢測(cè)裝置 賦能半導(dǎo)體工廠特氣安全智能監(jiān)控

摘要： 在半導(dǎo)體制造過程中，硅烷、氫氣、砷化氫等特殊材料氣體的泄漏檢測(cè)是保障人員安全與生產(chǎn)連續(xù)性的核心環(huán)節(jié)。池田屋全新引入的日本新宇宙（Shin-Cosmos）PS-8系列Cosmos型氣體檢測(cè)裝置，采用Cosmos系統(tǒng)（可更換校準(zhǔn)傳感器）與泵吸式主動(dòng)采樣，支持恒電位電解式、熱絲半導(dǎo)體式及原電池式等多種檢測(cè)原理，標(biāo)配Modbus/TCP以太網(wǎng)通信與PoE供電，為半導(dǎo)體工廠的特氣安全監(jiān)控提供了高靈活性、低維護(hù)成本的智能化解決方案。

正文：

在半導(dǎo)體晶圓制造、薄膜沉積及刻蝕工藝中，硅烷（SiH?）、氫氣（H?）、砷化氫（AsH?）及磷化氫（PH?）等特殊材料氣體被廣泛使用。這些氣體中相當(dāng)一部分具有高毒性或易燃易爆特性，其泄漏檢測(cè)直接關(guān)系到人員的生命安全與生產(chǎn)的連續(xù)性。傳統(tǒng)的固定式氣體檢測(cè)裝置在傳感器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性和現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)維護(hù)方面存在局限。為滿足半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)特氣安全監(jiān)控的高可靠性需求，池田屋引入日本新宇宙（Shin-Cosmos）PS-8系列Cosmos型氣體檢測(cè)裝置。

新宇宙電氣株式會(huì)社成立于1960年，是氣體檢測(cè)設(shè)備制造商。PS-8系列是其面向半導(dǎo)體工廠開發(fā)的Cosmos型氣體檢測(cè)裝置，采用始于1997年的Cosmos系統(tǒng)——通過更換預(yù)校準(zhǔn)的傳感器單元，無需在安裝現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行氣體校準(zhǔn)，從而有效降低運(yùn)營(yíng)成本并確保測(cè)量的可靠性。

在核心性能方面，PS-8系列根據(jù)目標(biāo)氣體的不同，可搭載恒電位電解式（適用于毒性氣體）、熱絲半導(dǎo)體式（適用于氫氣、甲烷等可燃?xì)怏w，壽命更長(zhǎng)）及原電池式（適用于氧氣）等多種傳感器原理。該系列采用泵吸式主動(dòng)采樣（約0.5L/min±20%），通過自動(dòng)吸入流量控制確保采樣穩(wěn)定性。代表性檢測(cè)范圍涵蓋可燃?xì)怏w0-2000ppm及氧氣0-25vol%，適配半導(dǎo)體工廠常見特氣類型。

PS-8系列由主機(jī)（PS-8N/PS-8M）與子機(jī)（PS-8S）組成。PS-8N支持DC24V供電與RS485（Modbus-RTU）擴(kuò)展通信；PS-8M支持以太網(wǎng)（Modbus/TCP）與PoE供電，一臺(tái)PS-8M可管理多個(gè)PS-8S子機(jī)，實(shí)現(xiàn)按需組合不同傳感器的靈活配置。主機(jī)配備大尺寸高清晰度LCD液晶顯示屏，氣體濃度、報(bào)警狀態(tài)、流量狀態(tài)及氣體名稱等一目了然。氣體濃度模擬信號(hào)（DC4-20mA）與氣體報(bào)警觸點(diǎn)（1a干接點(diǎn)）可輸出至DCS/PLC或聯(lián)動(dòng)聲光報(bào)警器。

在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方面，PS-8系列從正面即可完成傳感器更換操作，維護(hù)便捷。尺寸為W70×H124×D172mm，主機(jī)重約850g，子機(jī)約770g。該系列為非防爆型，工作溫度0-40℃，濕度30-85%RH（無冷凝）。

在應(yīng)用場(chǎng)景方面，PS-8系列廣泛適用于半導(dǎo)體晶圓制造的硅烷、氫氣等特氣泄漏檢測(cè)、薄膜沉積與刻蝕工藝的氣體監(jiān)控、化合物半導(dǎo)體（GaAs、InP）制造的特氣安全監(jiān)測(cè)，以及光伏太陽能電池生產(chǎn)的硅烷氣體泄漏檢測(cè)。

行業(yè)觀察人士指出，在半導(dǎo)體制造的特氣安全管理中，具備高靈活性、低維護(hù)成本與網(wǎng)絡(luò)通信能力的固定式氣體檢測(cè)系統(tǒng)，是保障生產(chǎn)安全與連續(xù)性的關(guān)鍵裝備。池田屋此次引入的新宇宙PS-8系列Cosmos型氣體檢測(cè)裝置，以其Cosmos系統(tǒng)免現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)、泵吸式主動(dòng)采樣、Modbus/TCP以太網(wǎng)通信及PoE供電等核心優(yōu)勢(shì)，為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體與光伏行業(yè)的特氣安全監(jiān)控提供了高效智能的解決方案。

綜合來看，該系列產(chǎn)品的推廣應(yīng)用，有助于提升半導(dǎo)體工廠特氣泄漏檢測(cè)的可靠性與智能化水平，為半導(dǎo)體制造與新能源產(chǎn)業(yè)的安全生產(chǎn)提供堅(jiān)實(shí)的技術(shù)支撐。