產(chǎn)品分類
Product CategoryULVAC愛發(fā)科推出的 RDA-281H 多級(jí)羅茨型干泵,是一款實(shí)現(xiàn)與油旋轉(zhuǎn)泵同等性能的無(wú)油干式真空泵。型號(hào) RDA-281H 有效排氣速度 280 L/min,極限壓力可達(dá) 8.0×10?2 Pa(F.A 開時(shí)),具備從大氣壓到極限壓力全范圍運(yùn)行能力,無(wú)需冷卻水,適用于分析設(shè)備、氣體回收系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備及渦輪分子泵前級(jí)泵等應(yīng)用場(chǎng)景。
| 項(xiàng)目 | 規(guī)格 |
|---|---|
| 型號(hào) | RDA-281H |
| 有效排氣速度 | 280 L/min |
| 極限壓力(F.A開時(shí)) | ≤ 8.0×10?2 Pa |
| 極限壓力(F.A關(guān)時(shí)) | ≤ 6.0 Pa |
| 電動(dòng)機(jī) | 720W + 10W DC 電機(jī) |
| 電源電壓(單相) | 100~115V / 200~240V |
| 電源電壓(三相) | 200~240V |
| 全負(fù)荷電流(單相) | 10/5 A |
| 全負(fù)荷電流(三相) | 5 A |
| 重量 | 38 kg |
| 吸氣口徑 | KF-25 |
| 排氣口徑 | KF-25 |
| 使用環(huán)境溫度 | 5 ~ 40℃ |
| 最大水分吸引量 | ≤ 300 g/h |
| 最大尺寸(RDA-281H) | 180(W) × 520(L) × 377(H) mm |
| 最大尺寸(RDA-281HA) | 180(W) × 588(L) × 377(H) mm |
1. 干式無(wú)油設(shè)計(jì)
采用多級(jí)羅茨轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu),泵體內(nèi)無(wú)油運(yùn)行,不會(huì)發(fā)生真空油的返流和油霧,排氣清潔。
2. 全壓力范圍運(yùn)行
可從大氣壓力到極限壓力范圍內(nèi)連續(xù)運(yùn)行,無(wú)需旁通管路。
3. 強(qiáng)水蒸氣應(yīng)對(duì)能力
最大水分吸引量達(dá) 300 g/h,適用于含有水蒸氣的排氣工藝。
4. 無(wú)需冷卻水
采用空冷設(shè)計(jì),無(wú)需配備冷卻水配管。
5. 長(zhǎng)壽命
無(wú)滑動(dòng)部件,磨損極小,使用壽命長(zhǎng)。
6. 多種電源對(duì)應(yīng)
單相(100-240V)和三相(200-240V)均可適用,適配不同現(xiàn)場(chǎng)電源條件。
| 型號(hào) | 認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn) | 1Φ100~115V | 1Φ200~240V | 3Φ200~240V |
|---|---|---|---|---|
| RDA-281H | — | — | ● | ● |
| RDA-281HA | cTUVus | ● | ● | ● |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 說(shuō)明 |
|---|---|
| 分析設(shè)備 | 質(zhì)譜儀、電子顯微鏡等的前級(jí)泵 |
| 氣體回收系統(tǒng) | 稀有氣體的回收與循環(huán) |
| 鍍膜設(shè)備 | 濺射、蒸鍍等真空鍍膜工藝 |
| 渦輪分子泵前級(jí)泵 | 作為 TMP 的前級(jí)泵使用 |
| 氦檢漏儀 | 檢漏系統(tǒng)的真空泵 |
| 半導(dǎo)體制造工藝 | 無(wú)油清潔環(huán)境下的排氣 |
電源條件:確認(rèn)現(xiàn)場(chǎng)電源為單相或三相,電壓是否在適用范圍內(nèi)
認(rèn)證要求:如需 cTUVus 認(rèn)證,選擇 RDA-281HA 型號(hào)
安裝環(huán)境:僅限室內(nèi)使用,環(huán)境溫度 5~40℃
排氣成分:不適用于爆炸性、易燃性、有毒或腐蝕性氣體
粉塵防護(hù):含粉塵或生成物的氣體需安裝吸氣阱
吸入粉末或生成物會(huì)導(dǎo)致泵損壞,請(qǐng)使用吸氣阱
禁止抽排有害、爆炸性、易燃性或腐蝕性氣體,否則可能導(dǎo)致故障、爆炸或火災(zāi)
僅供室內(nèi)使用,請(qǐng)勿安裝于下雨或淹水的地方或室外
泵的重量約 38kg,搬運(yùn)時(shí)請(qǐng)注意安全
使用環(huán)境溫度低于 5℃ 時(shí),泵內(nèi)部件可能卡死,導(dǎo)致泵停止運(yùn)行
ULVAC RDA-281H 多級(jí)羅茨型干泵通過(guò)六段羅茨轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)和無(wú)油干式設(shè)計(jì),為分析設(shè)備、鍍膜工藝及半導(dǎo)體制造等應(yīng)用提供了一套清潔、高性價(jià)比的真空解決方案。其 280 L/min 的排氣速度、8.0×10?2 Pa 的極限壓力及無(wú)需冷卻水的設(shè)計(jì),適用于需要清潔真空的各類工業(yè)和研究場(chǎng)景。
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