池田屋新品ULVAC RS-01消音器套件

池田屋新品ULVAC RS-01消音器套件

摘要： 在半導(dǎo)體、電子器件及一般工業(yè)的真空系統(tǒng)中，干式真空泵運(yùn)行產(chǎn)生的噪音是影響工作環(huán)境與設(shè)備布局的重要因素。池田屋全新引入的日本ULVAC（愛發(fā)科）RS-01型消音器套件，專為ULVAC多級羅茨型干泵設(shè)計(jì)，通過卡箍直接連接泵排氣口，可實(shí)現(xiàn)最高19dB(A)的顯著降噪效果，為潔凈真空環(huán)境提供了高效、便捷的噪音治理解決方案。

正文：

在半導(dǎo)體制造、電子器件生產(chǎn)及一般工業(yè)的真空系統(tǒng)中，干式真空泵在運(yùn)行過程中產(chǎn)生的高頻排氣噪音，不僅影響操作人員的工作環(huán)境，還可能對精密設(shè)備的振動敏感度構(gòu)成潛在干擾。傳統(tǒng)消音方案往往需要復(fù)雜的管路改造或額外占用空間。為應(yīng)對這一挑戰(zhàn)，池田屋引入日本ULVAC RS-01型消音器套件。

RS-01屬于ULVAC RS系列消音器套件，是一款針對干式真空泵排氣噪音設(shè)計(jì)的專用消音器。其核心優(yōu)勢在于可通過卡箍直接連接到泵的排氣口，無需復(fù)雜的管路改造，安裝簡便快捷。該消音器適用于CR60B、LR60、LR90、LR300、GR60A、GR90A等多款ULVAC干式真空泵型號。

在降噪性能方面，根據(jù)ULVAC測試數(shù)據(jù)（極限壓力狀態(tài)、導(dǎo)入稀釋氣體5SLM條件下），RS-01在50Hz電源頻率下可實(shí)現(xiàn)11dB(A)的降噪效果（從81dB(A)降至70dB(A)）；在60Hz電源頻率下可實(shí)現(xiàn)19dB(A)的顯著降噪效果（從88dB(A)降至69dB(A)）。這一降噪能力可有效改善真空泵運(yùn)行時(shí)的噪音水平，為操作人員提供更舒適的工作環(huán)境。

在配套規(guī)格方面，RS-01套件A包含卡箍1個、O型圈1個，適配CR60B、LR60、LR90、LR300、GR60A、GR90A等泵型。排氣口法蘭為KF40標(biāo)準(zhǔn)接口，便于快速安裝。消音器本體材質(zhì)為SUS304不銹鋼，表面經(jīng)GBB處理，重量約4.1kg，結(jié)構(gòu)緊湊耐用。

在應(yīng)用場景方面，RS-01廣泛適用于半導(dǎo)體刻蝕與沉積設(shè)備、真空鍍膜系統(tǒng)、Load Lock室真空系統(tǒng)、真空干燥設(shè)備等需要使用ULVAC干式真空泵的各類工業(yè)真空系統(tǒng)的排氣噪音治理。

行業(yè)觀察人士指出，在工業(yè)真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)中，排氣噪音的控制是改善工作環(huán)境與滿足環(huán)保法規(guī)的重要環(huán)節(jié)。池田屋此次引入的ULVAC RS-01消音器套件，以其最高19dB(A)降噪效果、簡便的卡箍安裝方式及廣泛的泵型適配性等核心優(yōu)勢，為國內(nèi)真空系統(tǒng)用戶提供了高效便捷的排氣降噪解決方案。

綜合來看，該產(chǎn)品的推廣應(yīng)用，有助于改善真空泵運(yùn)行環(huán)境噪音水平，提升工業(yè)現(xiàn)場的工作舒適度與設(shè)備布局靈活性，為制造與科研應(yīng)用提供堅(jiān)實(shí)的技術(shù)支撐。