產(chǎn)品分類
Product Category南國柔性軟管工業(yè)株式會社(Nankoku Flexible Hose Industry Co., Ltd.)推出的 NK-2300V 真空法蘭型軟管,是一款專為真空系統(tǒng)設計的柔性連接元件,采用 JIS VG-VF 法蘭組合,適用于配管誤差調(diào)整、位移吸收、振動抑制及運動響應,但不適用于扭曲吸收。適用管材為 CLT(超柔性)管,內(nèi)徑覆蓋 10A 至 100A,長度可按需定制(200mm 至 3M)。該產(chǎn)品允許泄漏率 ≤ 1.33 × 10?1? Pa·m3/s,適用于氣體/空氣介質(zhì)(僅限不腐蝕不銹鋼的流體),工作溫度范圍為 -15 至 150℃,工作壓力從真空至 0.1MPa。
| 項目 | 規(guī)格 |
|---|---|
| 品名 | NK-2300V |
| 類型 | 真空法蘭型軟管 |
| 適用管材 | CLT(超柔性) |
| 適用內(nèi)徑 | 10A ~ 100A(100A 以上可定制) |
| 標準長度 | 200mm ~ 3M(可定制) |
| 適用流體 | 氣體/空氣(僅限不腐蝕不銹鋼的流體) |
| 工作溫度 | -15 ~ 150℃ |
| 工作壓力 | 真空 ~ 0.1 MPa |
| 允許泄漏率 | ≤ 1.33 × 10?1? Pa·m3/s |
| 法蘭標準 | JIS VG-VF 法蘭組合 |
| 法蘭材質(zhì) | SUS304 / SUS316L |
| 管材材質(zhì) | SUS304 / SUS316L |
| 口徑(A) | 管內(nèi)徑(mm) | 管外徑(mm) | 板厚(mm) | 波峰高度(mm) | 波距(mm) | 彈簧常數(shù)(N/mm·波) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 25A | 33.0 | 44.0 | 0.2 | 5.3 | 6.0 | 358 |
| 40A | 50.5 | 65.0 | 0.25 | 7.0 | 7.0 | 484 |
| 50A | 66.0 | 86.0 | 0.3 | 9.7 | 10.0 | 408 |
| 65A | 78.0 | 100.5 | 0.3 | 11.0 | 11.0 | 337 |
| 80A | 78.0 | 100.5 | 0.3 | 11.0 | 11.0 | 337 |
| 100A | 103.0 | 126.0 | 0.3 | 11.2 | 12.0 | 391 |
1. JIS VG-VF 真空法蘭組合
采用 JIS 標準 VG(真空用)和 VF(真空法蘭)法蘭組合,確保與標準真空系統(tǒng)配管的兼容性和密封可靠性。
2. CLT 超柔性管材
適用管材為 CLT(超柔性)管,具有優(yōu)異的彎曲性能,適用于需要頻繁運動或空間受限的真空管路安裝環(huán)境。
3. 超低泄漏率
允許泄漏率 ≤ 1.33 × 10?1? Pa·m3/s,滿足高真空系統(tǒng)的密封要求。
4. 真空至 0.1MPa 寬壓力范圍
既可承受真空負壓,也可承受最高 0.1MPa 的正壓,適用于多種真空工藝場景。
5. 寬溫度適應范圍
工作溫度 -15 至 150℃,適用于從常溫到中溫的真空工藝。
6. 全不銹鋼材質(zhì)
管材、法蘭均為 SUS304/SUS316L 不銹鋼,耐腐蝕性好,適用于潔凈真空環(huán)境。
7. 氦氣泄漏測試
出廠前經(jīng)過氦氣泄漏測試(≤1×10?? Torr-L/秒),確保產(chǎn)品密封性能。
| 應用類型 | 說明 |
|---|---|
| 真空設備管路連接 | 真空腔體與真空泵之間的柔性連接 |
| 真空配管誤差調(diào)整 | 吸收真空管路安裝過程中的微小偏差 |
| 真空泵振動抑制 | 減少真空泵振動向管路的傳遞 |
| 真空系統(tǒng)熱位移吸收 | 吸收真空管路熱膨脹引起的位移 |
| 半導體制造設備 | 真空管路系統(tǒng)柔性連接 |
| 分析儀器 | 質(zhì)譜儀、電子顯微鏡等真空系統(tǒng)連接 |
口徑匹配:確認真空管路口徑(10A ~ 100A,更大口徑可定制)
法蘭標準:確認 JIS VG-VF 法蘭是否與現(xiàn)有配管匹配
長度:根據(jù)安裝空間和所需位移量確定軟管長度(200mm ~ 3M)
工作溫度:確認系統(tǒng)溫度在 -15 ~ 150℃ 范圍內(nèi)
工作壓力:確認系統(tǒng)壓力在真空 ~ 0.1MPa 范圍內(nèi)
泄漏率要求:確認系統(tǒng)允許泄漏率是否 ≥ 1.33 × 10?1? Pa·m3/s
安裝注意:本產(chǎn)品不可用于吸收扭曲,安裝時需避免扭轉(zhuǎn)應力
南國柔性軟管 NK-2300V 真空法蘭型軟管通過 JIS VG-VF 法蘭組合、CLT 超柔性管材及超低泄漏率設計,為真空系統(tǒng)提供了一種高密封性、高柔性的管路連接方案。其 10A 至 100A 的口徑覆蓋、-15 至 150℃ 的溫度適應范圍及真空至 0.1MPa 的壓力適用范圍,適用于半導體制造設備、分析儀器及一般工業(yè)真空系統(tǒng)等對泄漏率要求嚴格的真空管路柔性連接場景。
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