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產(chǎn)品分類
Product Category池田屋推出光津精機(jī)（Kohzu Precision）品牌MVZA16A-W2C01真空兼容Z軸平臺。該產(chǎn)品為楔形真空兼容型自動Z軸平臺，采用精密十字滾輪導(dǎo)軌，臺面尺寸160×160mm，行程±8mm，重復(fù)定位精度≤±0.5μm，水平承載能力196N（20kgf），適用于真空環(huán)境下的高精度垂直定位與測量應(yīng)用。
一、產(chǎn)品概述
| 項(xiàng)目 | 規(guī)格 |
|---|---|
| 產(chǎn)品名稱 | 真空兼容Z軸平臺 |
| 型號 | MVZA16A-W2C01 |
| 品牌 | 光津精機(jī)（Kohzu Precision） |
| 臺面尺寸 | 160mm × 160mm |
| 導(dǎo)向方式 | 精密十字滾輪導(dǎo)軌 |
| 活動范圍 | ±8mm |
| 進(jìn)給方式 | 1/4"楔形，滾珠絲杠，導(dǎo)程1.0mm |
| 材質(zhì) | 鋁合金 |
| 本體重量 | 約7.1kg |
二、運(yùn)動與分辨率
| 項(xiàng)目 | 規(guī)格 |
|---|---|
| 分辨率（全步/半步） | 0.5μm / 0.25μm |
| 分辨率（微步進(jìn)1/20格） | 0.025μm |
| 最高速度 | 1.25mm/s（5kHz半步） |
| 重復(fù)定位精度 | ≤±0.5μm |
| 失動量 | ≤±0.5μm |
| 垂直度 | ≤10μm/16mm |
三、承載能力
| 項(xiàng)目 | 規(guī)格 |
|---|---|
| 水平承載能力 | 196N（20kgf） |
四、電氣規(guī)格
| 項(xiàng)目 | 規(guī)格 |
|---|---|
| 電機(jī) | 真空兼容5相步進(jìn)電機(jī) |
| 額定電流 | 1.4A/相 |
| 基本步進(jìn)角 | 0.72° |
| 連接器類型 | 真空兼容D-sub 9針連接器（Accu-Glass Products 9D-HVCP） |
五、核心特點(diǎn)
楔形Z軸設(shè)計：采用楔形結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)高精度垂直運(yùn)動，適用于大臺面精密定位。
超高分辨率：微步進(jìn)分辨率0.025μm，實(shí)現(xiàn)納米級垂直定位精度。
高精度定位：重復(fù)定位精度≤±0.5μm，失動量≤±0.5μm，確保垂直定位的精確性。
大臺面尺寸：臺面尺寸160×160mm，可承載較大尺寸工件。
高承載能力：水平承載能力196N（20kgf），可承載較重工件。
精密十字滾輪導(dǎo)軌：采用精密十字滾輪導(dǎo)軌，確保垂直運(yùn)動的高剛性和低摩擦。
高耐久性滾珠絲杠：采用高耐久性滾珠絲杠，確保長期穩(wěn)定運(yùn)行。
真空兼容設(shè)計：采用真空兼容型5相步進(jìn)電機(jī)和真空兼容連接器。
六、典型應(yīng)用場景
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 具體用途 |
|---|---|
| 真空環(huán)境 | 真空腔體內(nèi)的大臺面垂直精密定位 |
| 半導(dǎo)體制造 | 真空工藝中的大尺寸晶圓高度調(diào)整 |
| 表面分析 | XPS、AES等真空分析設(shè)備的樣品Z軸定位 |
| 薄膜沉積 | 濺射、蒸鍍等真空工藝中的大尺寸基板高度調(diào)整 |
| 同步輻射 | 真空光束線中的光學(xué)元件垂直定位 |
| 科研實(shí)驗(yàn) | 真空環(huán)境下的精密高度測量與定位 |
七、使用注意事項(xiàng)
本產(chǎn)品為楔形Z軸平臺，采用滾珠絲杠進(jìn)給方式
使用前需確認(rèn)真空兼容電機(jī)的規(guī)格和連接器類型
安裝時需注意真空環(huán)境下的散熱和材料放氣特性
水平承載能力196N（20kgf），請勿超載使用
垂直度≤10μm/16mm，確保運(yùn)動垂直性
建議在清潔環(huán)境中安裝，避免顆粒污染
池田屋表示，光津精機(jī)MVZA16A-W2C01真空兼容Z軸平臺憑借楔形設(shè)計、0.025μm超高分辨率及196N高承載能力，可滿足真空環(huán)境下的高精度垂直定位需求。
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