在半導(dǎo)體、FPD（平板顯示）、LED以及光伏等高科技制造業(yè)中，真空環(huán)境是許多關(guān)鍵工藝（如刻蝕、沉積、光刻）的前提。然而，傳統(tǒng)的油封式真空泵因存在工作介質(zhì)返流污染工藝腔室的風(fēng)險(xiǎn)，已逐漸被無油干式真空泵所取代。日本KASHIYAMA（樫山工業(yè)）是該領(lǐng)域的，其SDL30K系列干泵以其高抽速、低能耗和優(yōu)異的顆粒耐受性而備受贊譽(yù)。SDL30K-JM028-A 是該系列中的一款具體型號，專為大流量、高負(fù)載的潔凈及嚴(yán)苛工藝而設(shè)計(jì)。
產(chǎn)品介紹
SDL30K-JM028-A 是一款多級 Roots 式干式真空泵（通常被稱為干泵）。它無油運(yùn)行，依靠一對或多對相互反向旋轉(zhuǎn)、且彼此之間以及與泵殼之間保持微米級間隙的羅茨轉(zhuǎn)子，對氣體進(jìn)行逐級壓縮并最終排至大氣。這種設(shè)計(jì)使其內(nèi)部無需任何密封液體，從而杜絕了碳?xì)浠衔飳φ婵窄h(huán)境的污染。
核心特征與技術(shù)優(yōu)勢：
全無油設(shè)計(jì)：泵體的氣流通道內(nèi)無油。需要潤滑的部位是齒輪箱和軸承箱，而這些區(qū)域通過機(jī)械密封、活塞環(huán)或磁流體密封與真空室隔離。這確保了抽氣過程中不會產(chǎn)生油蒸汽返流，獲得潔凈度的真空環(huán)境（可達(dá) Pa 至 Pa 量級）。
高抽速與低極限壓力：SDL30K 系列在入口壓力較高區(qū)域具有的抽速，能夠快速將腔室從大氣壓抽至低壓狀態(tài)。該型號的峰值抽速可達(dá) 3000 立方米/小時(shí) 以上（具體見參數(shù)）。配合前級泵（通常是小型羅茨泵或旋片泵），其極限壓力可優(yōu)于 Pa。
優(yōu)異的顆粒處理能力：由于轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子、轉(zhuǎn)子與泵殼之間為非接觸式設(shè)計(jì)（存在微小間隙），且氣體通路平滑、，SDL30K-JM028-A 具有較強(qiáng)的固體顆粒（如刻蝕產(chǎn)生的硅粉、氧化物粉塵）耐受和通過能力。它不會像爪式泵或渦旋泵那樣因微小顆?？ㄋ蓝?。
智能化溫度控制：泵體內(nèi)部通常集成有加熱器及冷卻水道。在實(shí)際應(yīng)用中，可根據(jù)工藝氣體成分（如易冷凝的副產(chǎn)物）主動(dòng)將泵體溫度控制在預(yù)設(shè)范圍（如 ），防止氣體在壓縮過程中冷凝成固體粉末堵塞泵腔。
緊湊模塊化設(shè)計(jì)：相較于同等抽速的油封泵機(jī)組，SDL30K 干泵采用電機(jī)直驅(qū)或齒輪增速結(jié)構(gòu)，體積緊湊，占地面積小，且易于在設(shè)備機(jī)臺下方集成。
技術(shù)參數(shù)
注：以下為基于 KASHIYAMA SDL30K 系列典型規(guī)格，具體參數(shù)以英文規(guī)格書或產(chǎn)品銘牌為準(zhǔn)。
| 參數(shù)項(xiàng) | 技術(shù)指標(biāo) |
|---|---|
| 型號 | SDL30K-JM028-A |
| 類型 | 多級羅茨干式真空泵 (Multi-stage Roots Dry Pump) |
| 抽速 | （約 50,000 L/min，在 60Hz 時(shí)） |
| 極限壓力 | （配合前級泵） |
| 進(jìn)氣口徑 | ISO160F / JIS 150A 或 6英寸法蘭 |
| 排氣口徑 | ISO100F 或 4英寸法蘭 |
| 電機(jī)功率 | 約 11 kW - 15 kW（380-480V， 50/60Hz） |
| 轉(zhuǎn)速 | 約 3000 - 3600 rpm |
| 冷卻方式 | 水冷（冷卻水流量 8-15 L/min，水溫 15-25°C） + 風(fēng)扇輔助散熱 |
| 密封方式 | 軸封：機(jī)械密封 + 氮?dú)獯祾撸蛇x） 軸承：油脂潤滑 |
| 氮?dú)獯祾呓涌?/span> | 標(biāo)配（用于軸封保護(hù)和稀釋工藝氣體） |
| 噪音 | （在 1 米處） |
| 重量 | 約 500 - 600 kg |
| 外形尺寸 | 約 1200 mm (L) × 600 mm (W) × 800 mm (H) |
| 控制方式 | 變頻驅(qū)動(dòng)（可選），現(xiàn)場總線通訊 |
| 適用電壓 | 380V/400V/460V ±10%， 3相， 50/60Hz |
主要用途
SDL30K-JM028-A 主要應(yīng)用于大規(guī)模、高要求的工業(yè)真空環(huán)境，特別是那些不能容忍油污染且需要處理大量粉塵或化學(xué)副產(chǎn)物的工藝。
1. 半導(dǎo)體與 FPD 刻蝕/沉積工藝（核心應(yīng)用）
等離子刻蝕 (Etching)：在硅、氧化硅、氮化硅的刻蝕過程中，會產(chǎn)生大量的非揮發(fā)或低揮發(fā)性副產(chǎn)物（如聚合物、硅的鹵化物）。SDL30K 的高抽速能迅速帶走反應(yīng)物，維持工藝壓力的穩(wěn)定；其高溫加熱功能防止副產(chǎn)物在泵內(nèi)冷凝成粉塵；而無油結(jié)構(gòu)則避免了碳?xì)浠衔锱c等離子體反應(yīng)產(chǎn)生微粒。
化學(xué)氣相沉積 (CVD) / 物理氣相沉積 (PVD)：在沉積薄膜時(shí)，腔室內(nèi)需要極低的背景壓力（高真空），并且存在未反應(yīng)的前驅(qū)氣體或?yàn)R射顆粒。干泵作為主泵的前級或粗抽泵，能有效排出這些顆粒而不堵塞。
2. 太陽能光伏電池制造
硅基薄膜電池：在 PECVD 沉積氮化硅減反射膜時(shí)，會產(chǎn)生大量硅粉粉塵。SDL30K 因其寬間隙和光滑流道，被廣泛用作主工藝泵，耐受硅粉能力強(qiáng)于其他干泵。
刻蝕制絨：在刻蝕工序中，需要快速抽除反應(yīng)氣體，防止刻蝕不均。
3. 科研與大科學(xué)裝置
粒子加速器：維持超高真空束流管道的動(dòng)態(tài)真空。
空間環(huán)境模擬：大型真空艙的粗抽和維持。
4. 真空冶金與鍍膜
大面積卷繞鍍膜：在塑料薄膜或紙張上蒸鍍鋁、金屬氧化物時(shí)，放氣量大（來自基材），需大抽速干泵維持工藝真空。
熱處理爐：用于釬焊、燒結(jié)、退火等工藝，防止工件氧化。
5. 鋰電池制造
烘烤與注液前抽空：在電芯注液前，需將烘箱或真空干燥爐抽低壓力以去除水分。
使用與維護(hù)要點(diǎn)
氮?dú)獯祾?/span>：對于處理腐蝕性（如 Cl?、BCl?）或易冷凝氣體（如 TMA、TEOS），必須持續(xù)通入 進(jìn)行軸封吹掃和氣體稀釋，以保護(hù)軸承和密封件。
定期保養(yǎng)：雖然干泵維護(hù)周期比油泵長，但齒輪箱油需要每 6-12 個(gè)月更換一次。軸承壽命通常為 2-3 年。
顆粒管理：若工藝產(chǎn)生大量粉塵，建議在泵入口前端加裝 粉塵過濾器，以防顆粒在泵的排氣閥處堆積導(dǎo)致性能下降。
高溫操作：加熱型干泵在停泵后保溫或繼續(xù)通 吹掃冷卻，直到溫度降至安全范圍，以防冷凝物硬化導(dǎo)致下次無法啟動(dòng)。
總結(jié)
總而言之，KASHIYAMA SDL30K-JM028-A 是一款為大流量、高粉塵、嚴(yán)苛化學(xué)環(huán)境而生的工業(yè)級干式真空泵。它摒棄了傳統(tǒng)油封泵的污濁，以精密而堅(jiān)韌的非接觸羅茨轉(zhuǎn)子，在芯片工廠的刻蝕車間、光伏生產(chǎn)線的鍍膜站以及真空鍍膜機(jī)的核心位置，源源不斷地將海量工藝氣體和顆粒物迅速清空。
它就像一位身強(qiáng)力壯、從不抱怨、又特別愛干凈的“肺"，為精密制造提供了一個(gè)純凈、穩(wěn)定的低壓舞臺。選擇 KASHIYAMA SDL30K，意味著選擇了高產(chǎn)能、低污染、經(jīng)久耐用的大真空解決方案。
